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晶圆加热台  
ウェハホットチャック　PH201Sシリーズ Wafer Hot Chuck

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特点


● ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。
● ワークは真空吸着により固定できます。
● 付属の温度調節器で精密温度制御が可能です。

规格


● 表面处理:黑色阳极氧化铝
● <热吸盘部分>
● ▼温度精度:±1.5%
● ▼重量:约3kg
● <温度调节器>
● ▼电源:AC100V50/60Hz
● ▼尺寸:98×156×101mm
● ▼重量:约1.3kg
● ※另外需要真空泵(推荐泵例:1-9197-02隔膜型干式真空泵DAP-12S)。

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