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薄膜卡盘用加热板 PA系列  
フィルムチャック用ホットプレート PAシリーズ

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特点


● 吸着部はセラミック焼結体でフィルム状ワークの加熱を精密に行えます。
● WPFCタイプは配線部が防水構造です。
● 装置内組み込み用途にも適しています。

规格


● 使用温度範囲:室温~200℃
● 温度分布精度:±1.5%
● プレート部:セラミック多孔質体
● 真空ポート:外径Φ6mm用ワンタッチ継手
● 推奨真空ポンプ:ダイヤフラム式ポンプ(排気速度20L/min)
● 電源:AC100V 50/60Hz
● 電源ケーブル長:1.5m(先端R3.5圧着端子)
● センサーケーブル長:1.5m(先端R3.5圧着端子)

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