特点
● 液体用マスフローセンサを搭載した高性能のデジタル液体マスフローメータです。
● ソレノイドアクチュエータ駆動回路を内蔵することでソレノイドアクチュエータと連動し、液体マスフローコントローラとして使用可能
● デジタルインターフェイスは、RS-485を標準装備
● リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
● マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現
● 耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上
● 金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
● 気化器と組み合わせた使用も可能、その他液種はお問い合わせください。
规格
● 再现性:±0.5%F.S.
● 模拟流量输出信号:0~5VDC
● 所需压差:50~300kPa
● 响应时间:3sec
● 模拟流量设定信号:0.25~5VDC
● 模拟流量输出信号:0~5VDC
● 所需压差:50~300kPa
● 耐压:1MPa(G)
● 使用保证温度:20~30°C0~80%RH
● 限位:1×10-11Pa・m3/secHe
● 接液部分材质:SUS316L
● 密封材料:SUS316L
● 所需电源:+15VDC±3%100mA、-15VDC±3%200mA
● 安装姿势:自由
● 模拟连接器:Dsub9pin
● 数字接口:插孔RJ45/RS-485
● 重量:800g