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AIGX-S-NW25有源离子计  
AIGX(アクティブイオンゲージ)

参考资料

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特点


● AIGXはイットリアコートイリジウムフィラメントを2本装備したコンパクトで丈夫なアクティブイオンゲージです。
● 測定範囲は6.6～6.6×10-8Paで、リニア(1ボルト/1桁)出力します。
● 電子回路モジュールと交換可能なゲージチューブを備えたAIGXは脱ガスおよびフィラメント保護機能を装備し、生産設備としての要求事項を全て満たしています。
● AIGXは荷電粒子放出量が極めて低く、粒子の混在が嫌われるプロセスには理想的な真空計といえます。

规格


● 测量范围:6.6-6.6×10^-8Pa

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