特点
● 半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を流体として使用できるダイヤフラムバルブです。
● バルブの基本特性、パーティクル性能やパージ特性を維持しながら、シート(ASSY)部の交換をユーザーサイドで可能としました。
● 定期的なクリーニングを必要とする材料容器の封止バルブに対し、メンテナンス性能の向上とランニングコストダウンに有効です。
● シート(ASSY)部交換治具はWD4手動弁シリーズと共通です。
● アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに対応可能です。