特点
● 多孔質セラミックス吸着テーブルです。
● グリーンシート・ポリイミドフィルム・軽軟材・薄物材等の吸着に適しています。
● 気孔径55μmタイプは機械加工による穴径に比べて小さく、被吸着物の変形量が少なくなります。
● 気孔径2μmタイプは着面を前面覆わない部分的な吸着をマスキングなしで吸着することが可能です。
● 気孔径2μmタイプは剛性の低い極薄（板厚数μm）を変形せずに吸着可能です。
规格
● 材質：上面／アルミナ系セラミックス、ベース／ステンレス（SUS303）
● 平均気孔率：30～35％
● ※使用の際は別途、真空ポンプが必要です。