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高纯度碳化硅板  
高純度炭化珪素板

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特点


● 純度SiC≧99.9999%と高純度であり、製品自体から不純物が殆どでないため、高い信頼性を誇ります。
● 高い耐久性、耐熱性をもつため、半導体治具やダミーウェハに使用されます。
● 高純度が必要な炉などのヒーターに使用されます。

规格


● 化学組成:SiC≧99.9999%
● 密度:3.15g/cm3
● 曲げ強度:600MPa
● 弾性率:390GPa
● 熱膨張率:4.3E-6/K
● 熱伝導率:230W/m・K
● 体積抵抗値:2E-02Ω・cm
● ※在庫がない場合や、数量が多い場合、納期2~3ヵ月程度かかります。また、工場の稼働次第ではそれ以上かかる可能性もございますので、予めご了承願います。

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